Cuaderno de laboratorio. SISTEMAS MICRO Y NANO ELECTROMECÁNICOS (MEMS Y NEMS)

Abstract

Cuaderno de laboratorio con tres prácticas de informática utilizando el programa de simulación "Mechanical APDL Product Launcher 17.2" de ANSYS. 1) Practica 1: Cantiléver de un microscopio AFM, simulación del comportamiento dinámico. 2) Comportamiento mecánico de un sensor de temperatura basado en bimetálicos. 3) Simulación de un ensayo de nanoindentación.